特許情報 > Hセクション 電気 > H01L：2012年
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シート貼付装置及び貼付方法
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- 【要約】
【課題】検出手段によって接着シートを精度良く検出でき、当該検出のための調整作業の負担を軽減することができるようにすること。
【解決手段】シート貼付装置１０は、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＳが仮着された原反Ｒを繰り出す繰出手段１２と、この繰出手段１２で繰り出される原反Ｒの剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する剥離手段１４と、剥離手段１４を通過する接着シートＳを検出する検出手段１６と、この検出手段１６の検出結果を基に、繰出手段１２を所定制御可能な制御手段１９とを備えて構成されている。剥離手段１４は、検出手段１６に向かって光を発光可能に設けられている。
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- 【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、この繰出手段で繰り出される前記原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、この剥離手段を通過する接着シートを検出する検出手段と、この検出手段の検出結果を基に、前記繰出手段を所定制御可能な制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離手段は、前記検出手段に向かって光を発光可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記剥離手段は、光を散乱可能な散乱体により形成されることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記剥離手段は、光源を内蔵可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記剥離手段は、前記光の色を変更可能な変色手段を含むことを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート貼付装置。
【請求項５】
基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す工程と、
前記剥離シートから接着シートを剥離手段により剥離する工程と、
前記剥離シートから接着シートを剥離する工程で当該接着シートを検出手段で検出する工程と、
前記検出手段の検出結果を基に、前記接着シートが所定の動作を行うように制御する工程とを有するシート貼付方法であって、
前記原反を繰り出す工程において前記剥離手段により前記検出手段に向かって光を発光しながら前記原反を繰り出す工程を有することを特徴とするシート貼付方法。
- 【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、検出手段により接着シートの位置を確実に検出して被着体に貼付することができるシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、接着シートが仮着された帯状の剥離シートを繰り出す繰出手段と、繰り出し中の剥離シート上の接着シート端部に光を照射する照明器と、照明器による接着シートへの反射光を撮像するカメラとを備え、カメラで撮像した接着シートのデータに基づき、当該接着シートの位置を検出し、接着シートと被着体とを位置合わせして接着シートが被着体に貼付されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２０８２３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のシート貼付装置では、照明器の光が接着シート及び剥離シートの両方から反射することとなるため、接着シート及び剥離シートのコントラストが小さくなる等、カメラによる接着シートの位置検出が困難になり、検出精度も低下することとなる。よって、カメラでの接着シートの位置検出を良好に行えるようにすべく、照明器の位置調整や角度調整の作業に多大な手間が掛かる、という不都合がある。しかも、接着シートや剥離シートの反射光は、それらの形状や色、艶、光沢等の条件によって変化し易いものであり、別の接着シートに変更する度に、前記調整の負担を強いられるという不都合も招来する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明の目的は、検出手段によって接着シートを精度良く検出でき、当該検出のための調整作業の負担を軽減することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、この繰出手段で繰り出される前記原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、この剥離手段を通過する接着シートを検出する検出手段と、この検出手段の検出結果を基に、前記繰出手段を所定制御可能な制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離手段は、前記検出手段に向かって光を発光可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記剥離手段は、光を散乱可能な散乱体により形成される、という構成を採ってもよい。
【０００８】
また、前記剥離手段は、光源を内蔵可能に設けられる、という構成も好ましくは採用される。
【０００９】
更に、前記剥離手段は、前記光の色を変更可能な変色手段を含むとよい。
【００１０】
また、本発明の貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す工程と、
前記剥離シートから接着シートを剥離手段により剥離する工程と、
前記剥離シートから接着シートを剥離する工程で当該接着シートを検出手段で検出する工程と、
前記検出手段の検出結果を基に、前記接着シートが所定の動作を行うように制御する工程とを有するシート貼付方法であって、
前記原反を繰り出す工程において前記剥離手段により前記検出手段に向かって光を発光しながら前記原反を繰り出す工程を有する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、剥離手段から照射される光が原反を通じて検出手段に照射されるので、検出手段による位置検出時に、剥離シートと接着シートとのコントラストを大きく維持することができる。これにより、検出手段での検出精度を向上できる他、従来のようにカメラで接着シート等の反射光を撮像しなくてよいので、当該反射光の撮像に伴う照明器の位置や角度の調整を省略して準備作業の手間を少なくすることが可能となる。しかも、本発明の方が反射光を撮像する場合に比べ、接着シートや剥離シートの色や光沢等の影響を受け難くなり、これによっても、検出精度向上を図ることができる他、接着シートの種類を変更した際の調整負担も軽減することが可能となる。
【００１２】
また、剥離手段を散乱体により形成した場合、例えば、一箇所の光源の発光により剥離手段を全体的に一定の明るさに発光させることができる。これにより、接着シートと剥離シートとのコントラストをより認識し易くすることができ、接着シートの外縁位置等を安定した精度で検出することが可能となる。更に、発光可能な範囲を広くして検出手段の設置位置の自由度を高めることができる。また、光源がどこであっても散乱体に光を照射されれば当該散乱体を発光可能となるので、光源の設置位置の制約を緩和することができる。
【００１３】
更に、剥離手段が光源を内臓可能とした場合、剥離手段周りのスペースをより広く活用することが可能となる。しかも、光源からの光が剥離手段に入射される前に遮られたりすることを回避でき、剥離手段をより安定して光照射させることができる。
【００１４】
また、剥離手段が変色手段を含む場合、剥離シートや接着シートの色等に応じて、それらのコントラストを検出手段で検出し易いように照射する光の色を変更可能となる。
- 【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】剥離手段の部分拡大図。
【図３】剥離手段の斜視図。
【図４】変形例に係る剥離手段の概略正面図。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
- 【公開番号】特開２０１２−１０４７６９（Ｐ２０１２−１０４７６９Ａ）
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【発明の名称】シート貼付装置及び貼付方法
- 【出願番号】特願２０１０−２５４４２１（Ｐ２０１０−２５４４２１）
【出願日】平成２２年１１月１５日（２０１０．１１．１５）
【出願人】
【識別番号】０００１０２９８０
【氏名又は名称】リンテック株式会社
- 【代理人】
【識別番号】１００１０１１８８
【弁理士】
【氏名又は名称】山口 義雄
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