特許情報  > Bセクション 処理操作;運輸  > B81C:2012年


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エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング

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エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング

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【図1】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図1】


【図2】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図2】


【図3】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図3】


【図4】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図4】


【図5】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図5】


【図6】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図6】


【図7】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図7】


【図8】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図8】


【図9】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図9】


【図10】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図10】


【図11】
エピタキシャルリアクタにおける表面マイクロマシニングされた構造のためのギャップチューニング - 特開2012−106340【図11】