特許情報  > Cセクション 化学;冶金  > C30B:2012年


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GaAsウェハ及びGaAsウェハの製造方法

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GaAsウェハ及びGaAsウェハの製造方法

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【図1】
GaAsウェハ及びGaAsウェハの製造方法 - 特開2012−106890【図1】


【図2】
GaAsウェハ及びGaAsウェハの製造方法 - 特開2012−106890【図2】


【図3】
GaAsウェハ及びGaAsウェハの製造方法 - 特開2012−106890【図3】


【図4】
GaAsウェハ及びGaAsウェハの製造方法 - 特開2012−106890【図4】


【図5】
GaAsウェハ及びGaAsウェハの製造方法 - 特開2012−106890【図5】


【図6】
GaAsウェハ及びGaAsウェハの製造方法 - 特開2012−106890【図6】


【図7】
GaAsウェハ及びGaAsウェハの製造方法 - 特開2012−106890【図7】