特許情報  > Hセクション 電気  > H01L:2012年


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化合物半導体ウェハ、及び化合物半導体デバイス用ウェハの製造方法

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化合物半導体ウェハ、及び化合物半導体デバイス用ウェハの製造方法

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【図1】
化合物半導体ウェハ、及び化合物半導体デバイス用ウェハの製造方法 - 特開2012−15183【図1】