特許情報  > Cセクション 化学;冶金  > C30B:2012年


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SiC単結晶の製造方法

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SiC単結晶の製造方法

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【図1】
SiC単結晶の製造方法 - 特開2012−46384【図1】


【図2】
SiC単結晶の製造方法 - 特開2012−46384【図2】


【図3】
SiC単結晶の製造方法 - 特開2012−46384【図3】


【図4】
SiC単結晶の製造方法 - 特開2012−46384【図4】


【図5】
SiC単結晶の製造方法 - 特開2012−46384【図5】