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出願人：株式会社小松製作所 の特許一覧
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- 作業車両（特開２０１２−２０１６）
【課題】本発明の課題は、車体から取り外された排気ガス処理装置が損傷することを抑えることができると共に、排気ガス処理装置の車体に対する着脱が容易である作業車両を提供することにある。【解決手段】作業車両において、排気ガス処理装置２５の第１接続口２８は、管体２７から水平方向よりも下方へ向けて突出している。第１支持部材４１は、上下方向に貫通する第１取付孔を有する。…
- 作業車両（特開２０１２−２１３２）
【課題】本発明の課題は、排気ガス処理装置の高さ位置の調整を容易に行うことができる作業車両を提供することにある。【解決手段】第１固定機構４８は、第１フランジ部９１の第１接触面３８と第１取付部材４５の第２接触面４６とが接触した状態で第１フランジ部９１と第１取付部材４５とを固定する。第１固定機構４８は、第１フランジ部９１と第１取付部材４５との固定が緩められた状態…
- 作業車両（特開２０１２−２１８６）
【課題】本発明の課題は、車体内に侵入した異物によって排気ガス処理装置２５が損傷することを抑えることができる作業車両を提供することにある。【解決手段】作業車両において、第１支持部４５材４１は、第１支持部４５と、第２支持部４６と、連結部４７とを有する。第１支持部４５は、ＤＰＦ２５を下方から支持する。第２支持部４６は、第１支持部４５に対してＤＰＦ２５に沿った方向…
- 建設機械の電動モータおよび電動モータの冷却回路（特開２０１２−５２８９）
【課題】冷却を確実に行うことができる建設機械の電動モータおよび電動モータの冷却回路を提供すること。【解決手段】建設機械の電動モータ１の冷却回路２は、電動モータ１のロータシャフトに設けられたシャフト側通路を含む循環通路２２と、循環通路２２に冷却流体を供給するポンプ２１と、循環通路２２におけるシャフト側通路およびポンプ２１間に設けられた第１フィルタ２４と、第１…
- 建設機械の電動モータおよび電動モータの冷却回路（特開２０１２−５２９０）
【課題】軸受の冷却を確実に行うことができる建設機械の電動モータおよび電動モータの冷却回路を提供すること。【解決手段】建設機械の電動モータ１の冷却回路は、電動モータ１のロータシャフト８１に設けられたシャフト側通路８１３を含む循環通路と、循環通路に冷却流体を供給するポンプと、循環通路におけるシャフト側通路８１３以外の部分に設けられてロータシャフト８１の軸受７を…
- 熱交換器（特開２０１２−７７７８）
【課題】フィンの厚さを最適化することによって、加工性に優れながら、さらに優れた冷却効果を得ることができる熱交換器を提供する。【解決手段】建設現場で用いられる機械に搭載され、高温となった冷却水を冷却する熱交換器１であって、内部に冷却水が流れるチューブ２１と、チューブ２１に接合されるとともに、無開口な面状の放熱面を有したフィン２５とを備え、フィン２５の厚さが、…
- 放電励起式パルス発振ガスレーザ装置（特開２０１２−９８９２）
【課題】必要ガス流速の増大及びファンへの投入電力の増大を抑え、４ｋＨｚ以上のさらなる高繰り返し動作と長時間使用を可能にした放電励起式パルス発振ガスレーザ装置を提供する。【解決手段】細長いアノードとカソードの放電面形状が、電極長手方向に直交する断面において凸面の曲線形状であり、接地電位の電極の幅Ｗｅと放電電極間の最小間隔ｇがｇ／Ｗｅ＞３の関係を有し、放電電極…
- 狭帯域化レーザ装置（特開２０１２−９８９３）
【課題】スペクトル純度幅Ｅ９５の制御を、中心波長の制御にほとんど影響を与えることなく広い制御範囲で行えるようにし、スペクトル純度幅Ｅ９５を安定化させた狭帯域化レーザ装置を提供する。【解決手段】光共振器内の出力側、すなわち出力カプラ３１側に波面調整器３２が設けられる。レーザチャンバ１０で発生した光は、レーザチャンバ１０側から波面調整器３２を通過し、出力カプラ…
- ラバースプリング装置を架設したオフロードトラック（特開２０１２−１１８６９）
【課題】ラバースプリング装置がアコーディオン状の変形を生じたとしても、ラバー層の径方向内部において、局部的な亀裂の発生を防止し、耐久性の向上を図ることのできるラバースプリング装置を架設したオフロードトラックを提供する。【解決手段】平面形状でイコライザバーの長手方向と平行な方向に配される長さ寸法Wを、車軸方向と平行な方向に配される長さ寸法Hよりも短く構成した硬…
- スキッドステアローダの車体構造（特開２０１２−１２８５８）
【課題】メインフレームによって形成したハウジング室の上方に補強用の部材を配設することなく、メインフレームの底部フレームから立設した左右一対のサイドフレームにおける剛性を高めた、スキッドステアローダにおける車体構造を提供する。【解決手段】底部フレーム14から立設された左右一対のサイドフレーム13の下端部には、対向するサイドフレーム13の側面間に挿入され、各サイドフ…
- 受光部のスペックル軽減機能を有する分光器（特開２０１２−１３７１５）
【課題】 分光器における受光部のスペックルを軽減し、スペクトルＥ９５の高精度な計測を行うこと。【解決手段】 計測光（レーザ光）をレンズで集光し、光ファイバ１２を通して取り込む。光ファイバ１２の出射側には、ファイバ揺動／移動機構１３が設けられており、計測の間、常時、揺動もしくは移動させる。光ファイバ１２から出射される光は、シリンドリカルレンズから構成されるコリ…
- 極端紫外光源装置（特開２０１２−１９２２５）
【課題】ＬＰＰ式ＥＵＶ光源装置において、ＥＵＶコレクタミラーのスパッタ量を正確に反映させることにより、ミラー交換の時期を適切に判断できるようにする。【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、真空チャンバ内に配置され、プラズマから発生したイオンを検出して、そのイオン量を表す検出信号を出力するイオン検出器と、該イオン検出器から出力された検出信号に基づいて、イオン量を積…
- 極端紫外光源装置（特開２０１２−１９２２６）
【課題】ＬＰＰ式ＥＵＶ光源装置において、ＥＵＶコレクタミラーのスパッタ量を正確に反映させることにより、ミラー交換の時期を適切に判断できるようにする。【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、真空チャンバ内に配置され、表面に膜が形成されているセンサを有し、プラズマから発生したイオンを含む粒子が該センサ表面に形成された膜をスパッタすることにより生じる膜厚の変化をモニタ…
- 注入同期式又はＭＯＰＡ方式のレーザ装置（特開２０１２−１９２５０）
【課題】常に安定な出力及び波長を得ることが可能な、注入同期式又はＭＯＰＡ方式のレーザ装置を提供する。【解決手段】このレーザ装置は、オシレータ放電によってレーザガスを励起するオシレータ放電回路を有するオシレータと、増幅放電によってシードレーザ光を増幅する増幅放電回路を有する増幅器と、シードレーザ光の発光から出射レーザ光の発光まで、或いは、オシレータ放電の開始…
- 建設機械（特開２０１２−２１３６１）
【課題】作業機の誤操作を抑制可能な建設機械を提供する。【解決手段】建設機械１００は、頭部センサ１４０と制御部３５０とを備える。頭部センサ１４０は、頭部Ｐａが第１空間Ｒ1に位置することを、頭部Ｐａに接触せずに検出する。制御部３５０は、頭部Ｐａが第１空間Ｒ1に位置することが検出されない場合に、操作具１６０による作業機６０の操作を実行不能とする。
- 建設機械（特開２０１２−２１３６２）
【課題】作業機の誤操作を抑制可能な建設機械を提供する。【解決手段】建設機械１００は、シートベルトセンサ２２０と制御部３５０とを備える。シートベルトセンサ２２０は、シートベルト２００ｂがオペレータＰの胴体部に装着されているか否かを検出する。制御部３５０は、シートベルト２００ｂがオペレータＰの胴体部に装着されていない場合、操作具１６０による作業機６０の操作を実…
- 作業機械（特開２０１２−２１３９４）
【課題】油圧アクチュエータが駆動されることなくエンジン再始動を容易にし、燃料消費量や排出する二酸化炭素量を低下させる。【解決手段】エンジン４０によって駆動される油圧ポンプ４２と、油圧アクチュエータ２１，２２，２３，３１，３２と、発電電動機４４が発電動作した場合の電力を蓄積する一方、発電電動機４４が電動動作する場合に電力を供給する蓄電器６１とを備え、操作レバ…
- ハイブリッド型油圧ショベル（特開２０１２−２１３９６）
【課題】高い集積度で複数の電子部品を配設した場合であっても、電子部品から発生する熱を適確に放熱し、電子部品の内部温度を所定の範囲に保つことができる電子部品用冷却装置を備えた電子部品モジュールを有したハイブリッド型油圧ショベルを提供すること。【解決手段】エンジン１０１と、エンジン１０１の駆動を補助する電動アシストモータ１０２と、旋回部１０１ｂを自走部１０１ａ…
- 無人車両の走行システムおよびその走行制御方法（特開２０１２−２２６１１）
【課題】両側積込みで無人車両に走行指令を与えるに際して、左右の判断や左右指示ボタンによる操作を不要とし、作業性を向上させる。また、両側積込みで積込み点の位置を設定するに際して、左右の判断や左右指示ボタンによる操作を不要とし、作業性を向上させる。【解決手段】両側積込みで無人車両に走行指令を与えるに際して、走行指令が指示されたときの作業機の向きまたは位置と、境…
- 作業車両（特開２０１２−３０７３６）
【課題】本発明の課題は、排気ガス処理装置を備える作業車両において、ラジエータの冷却効率の低下を抑えることにある。【解決手段】作業車両において、エンジン室８は、運転室７の前方に配置される。排気ガス処理装置３３は、エンジン室８内においてエンジン３１の上方に配置される。ラジエータ３５は、エンジン室８内において排気ガス処理装置３３の前方に配置される。送風装置３７は…
- 油圧ポンプ・モータ（特開２０１２−３１７５８）
【課題】連通孔などを介して吐出ポートとシリンダポートとが連通する際に生じるシリンダボア内壁やピストンに対する壊食を低減することができる油圧ポンプ・モータを提供すること。【解決手段】回転軸まわりに複数のシリンダボアが形成されたシリンダブロックが、弁板吐出ポートと弁板吸込ポートとを有した弁板７に対して摺動し、斜板の傾斜によって各シリンダボア内のピストンの往復動…
- 油圧ショベルのエンジン制御装置（特開２０１２−３１７６３）
【課題】操作性を損なわずにエンジンの回転数を下げて燃料消費量の低減を図ることができる油圧ショベルのエンジン制御装置を提供する。【解決手段】第１目標回転数に応じた第２レギュレーション特性であって、第１レギュレーション特性よりもエンジン出力トルクの低下に対するエンジン回転数の上昇率が小さいレギュレーション特性が設定されており、エンジン出力トルクが第１トルク設定…
- 焼結摺動部材および作業機連結装置（特開２０１２−４１６３９）
【課題】 耐摩耗性、耐焼付き性および耐ヒートクラック性に優れた焼結摺動部材および作業機連結装置を提供する。【解決手段】本発明に係る焼結摺動部材は、裏金２１ａと、該裏金２１ａ上に焼結接合された鉄系焼結摺動体２０とを備えた焼結摺動部材であって、前記鉄系焼結摺動体２０は、固溶炭素濃度が０．１５〜０．５重量％に調整されたマルテンサイト相からなり、５〜５０体積％の炭化…
- ハイブリッド作業車両（特開２０１２−４１８１９）
【課題】蓄電装置と発電電動機とを接続する配線の長さを短く構成することができ、蓄電装置の冷却効率を高めることのできるハイブリッド作業車両を提供すること。【解決手段】エンジン15を横向きに配置したハイブリッド作業車両としての油圧ショベルにおいて、エンジン15とこれに配された発電電動機16及び主油圧ポンプ17とからなるパワーユニットと、エンジン15用の冷却液を冷却するエン…
- レーザ装置（特開２０１２−４４２１０）
【課題】レーザガスを封入したレーザチャンバの内部に相対向する一対の主電極を設け、前記主電極間の放電空間に生じさせたパルス状の主放電により前記レーザガスを励起してレーザ光を発振させる、２KHz以上の高繰り返しパルス発振するレーザ装置を対象とし、主放電に伴って発じる音響波に因るレーザ性能への悪影響を低減させることの可能なレーザ装置の提供を目的とする。【解決手段】レ…
- エキシマレーザ装置（特開２０１２−４９５５８）
【課題】１パルスあたりの出力エネルギーを従来以上に増加させたとしても、レーザチャンバに設けられた光学素子の劣化を抑制することできるエキシマレーザ装置を提供する。【解決手段】所望するレーザ出力以上の範囲内で、レーザチャンバに設けられた光学素子に照射するレーザビームのエネルギー密度を低下させるように、レーザビームの幅を広げる。
- 極端紫外光源装置用ドライバーレーザ及びＬＰＰ型極端紫外光源装置（特開２０１２−４９５６４）
【課題】短パルス化とマルチライン発振を同時に達成するＥＵＶ光源装置用ドライバーレーザを実現する。【解決手段】このドライバーレーザは、（ｉ）短パルスレーザ光を出力するレーザ装置と、レーザ装置から出力される短パルスレーザ光を光パラメトリック発振により広帯域化する光パラメトリック発振装置とを有するレーザ発振器と、（ii）レーザ発振器から出力されるレーザ光を入力し、…
- フォークリフト（特開２０１２−５１４４２）
【課題】ホイールベースの長大化を招来することなく駐車ブレーキユニットの取扱い部品点数を削減すること。【解決手段】油圧モータ２０によって回転駆動されるメイン入力軸３１と、メイン入力軸３１の回転によって回転するデフ入力軸３２と、デフ入力軸３２からフロントアクスルＦＡに至る間に構成した差動機構３３とを備え、油圧モータ２０の動力をメイン入力軸３１、デフ入力軸３２及…
- フォークリフト（特開２０１２−５１６７３）
【課題】走行性能や作業性能を損なうことなく車体外形寸法の大型化を抑えて機動性を確保すること。【解決手段】エンジン１によって駆動される走行用油圧ポンプ１０及び作業機用油圧ポンプ５０と、走行用油圧ポンプ１０から供給される油によって動作する油圧モータ２０とを備え、油圧モータ２０の動力をフロントアクスル２に伝達することによって走行するフォークリフトにおいて、エンジ…
- 作業機械の部品監視装置及び作業機械の部品監視方法（特開２０１２−５２４１０）
【課題】作業機械に取り付けられる部品が正規部品であるか否かを監視し、模造品等の使用を防止する部品監視装置を提供する。【解決手段】作業機械２は複数の交換可能な部品３を備えており、各部品３には無線タグ４が設けられている。無線タグ４には、部品ＩＤが予め記憶されている。制御装置１は、部品交換時やエンジン始動時が検出されると（１Ａ）、無線タグ４に記憶されている部品Ｉ…
- フォークリフトのエンジン制御装置（特開２０１２−５２４５７）
【課題】アクセルが大きく操作されたとしてもそのアクセル操作に応じてエンジン回転数を高くする必要のない運転状態であると判定された場合には、エンジン回転数を制限することで、燃料消費量の増大や騒音増大を抑制する。【解決手段】１）車体が停止状態であって作業機が作動していない状態２）車体が停止状態であって作業機がリフト下降方向のみに単独作動している状態３）車体が停止…
- 軸受構造（特開２０１２−５２５８９）
【課題】組み立て作業を煩雑化することなく、テーパローラベアリングに予圧を与え、かつ軸部材に対する歯車の軸心位置を規定した状態に維持すること。【解決手段】トランスファギヤ２１とデフ入力軸２０との間にはカラー部材４０を配設し、カラー部材４０は、第一の端面をトランスファギヤ２１の端面に当接させるとともに、第二の端面をインナーレース２２ｂの内側端面２２ｂ１に当接さ…
- フォークリフトのエンジン制御装置（特開２０１２−５６７６３）
【課題】無積載若しくは軽負荷（軽荷重負荷、軽走行負荷）の状態のときにアクセルペダルが一杯に踏込まれた場合に、燃料消費を低く抑えることができ、しかも一旦重量のある荷物が積載された場合には、最大上昇速度で荷物を上昇でき、最大の走行性能をもって加速不良なく走行できるようにして作業性を確保する。【解決手段】トルク線図上で最大トルク値の大きさが異なる複数の最大トルク…
- 油圧ポンプ（特開２０１２−５７４７２）
【課題】振動や騒音の発生を低減するとともに、吸込ポートや吐出ポートなどの壊食を低減することができる油圧ポンプを提供すること。【解決手段】回転軸まわりに複数のシリンダボア１００ａ〜１００ｉが等ピッチ配置されたシリンダブロック６が、弁板吐出ポートと弁板吸込ポートとを有した弁板に対して摺動し、斜板の傾斜によって各シリンダボア１００ａ〜１００ｉ内のピストンの往復動…
- 油圧駆動式の車両、およびその制御方法と装置（特開２０１２−５７５０２）
【課題】エンジンからの動力をHST(可変容量型油圧ポンプと油圧モータを接続した閉回路)を介して駆動輪へ伝えるように構成された車両、例えばフォークリフトにおいて、発進又は加速のために急激で大きなアクセル操作が行われた場合に燃費の悪化と過度な加速を防ぐ。【解決手段】HST２１を有するパワートレイン１０を備えたフォークリフト１では、アクセル操作制御部１５ａが、実際のアク…
- 油圧駆動式の車両、およびその制御方法と制御装置（特開２０１２−５７６６４）
【課題】HST（静液圧トランスミッション）を有するパワートレインを備えた車両において、クリープ現象、アクセル操作に対する発進タイムラグ、走行中にアクセル操作量を急激に減らした時のエンジン・オーバーラン、及び走行中に負荷が急増した時のエンジン・ストールなどの問題を解決する。【解決手段】パワートレイン１０内のHSTコントローラ１５が、アクセル操作量に応じてHSTポンプ２…
- 作業車両のエンジンオーバーラン防止制御装置（特開２０１２−５７７６１）
【課題】メカブレーキの効きを早めることなくエンジンのオーバーランを防止するようにして、エネルギーロスを抑制して、燃費悪化やブレーキ装置のクーリング能力低下を防止する。【解決手段】エンジン回転数検出手段３１で検出された実際のエンジン回転数Ｎｅが、エンジンの最大回転数を超えた場合には、実際のエンジン回転数Ｎｅが高くなるほどインチング率の下限値ＩＲLを高く設定して…
- リッパ装置の駆動制御装置（特開２０１２−６２６２０）
【課題】従来と同じ感覚で操作しながら、リッピング作業時におけるオペレータの操作負担を軽減することが可能なリッパ装置の駆動制御装置を提供する。【解決手段】リッパ装置５の制御装置４０は、ブルドーザ１の機体の後部に取り付けられたリッパ装置５の動きを制御する駆動制御装置であって、リッピング作業の終了を検知してリッパ装置５を地中から引き上げる第１制御と、地中から引き…
- エアコンユニットを備えた建設機械（特開２０１２−６２６２４）
【課題】 標準エアコンユニット以外にも、運転室外に設置及び取り外しを可能に構成され、運転室内の内圧を高める機能も有して、コンパクトに構成された副エアコンユニットを備えることができる建設機械を提供する。【解決手段】 エアクリーナーからの外気と運転室2内の内気とを切替えるダンパの内気導入面に内気フィルタ18a,18bを配設し、シール部材21aを介して内気フィルタ18aを蓋11に…
- 減圧弁装置（特開２０１２−６７８９０）
【課題】操作応答性を損なうことなく、減圧した油の供給を行うこと。【解決手段】弁本体１０の入力ポート１１ａから出力ポート１２ａまでの間に形成した主油通路１３と、弁本体１０において主油通路１３の途中に介在し、下流側が予め設定した圧力となるように調整する減圧弁部１００と、主油通路１３において減圧弁部１００よりも下流側に位置する出力油路１２の圧力が予め設定した値を…
- ウィンドウユニット、ウィンドウ装置、レーザ装置及び極端紫外光生成装置（特開２０１２−６９９０７）
【課題】ウィンドウのレーザ光による熱負荷による特性の悪化を改善させる。【解決手段】ウィンドウユニットは、レーザ光を透過するウィンドウと、前記ウィンドウの外縁を保持し、内部に前記ウィンドウの外側または内側の周辺に液体を流す流路が設けられたホルダとが設けられたウィンドウホルダと、を備えていてもよい。流路には、たとえば冷却装置から供給された冷却媒体が流れてもよい。
- ガイダンス出力装置及びガイダンス出力方法（特開２０１２−７２６３０）
【課題】オペレータに省エネルギー化の対処を適切に把握させ、省エネルギー化の対処を実行させる可能性を高くできるようにする。【解決手段】建設機械Ｓの運転中における燃料浪費運転動作の発生を検出するエコガイダンス判定部５３と、エネルギー浪費運転動作に対応する省エネルギー用のガイダンスを記憶するとともに、燃料浪費運転動作が発生した際に、対応する省エネルギー用のガイダ…
- ガイダンス出力装置及びガイダンス出力方法（特開２０１２−７２６３１）
【課題】オペレータに省エネルギー化の対処を適切に把握させ、省エネルギー化の対処を実行させる可能性を高くすることができるようにする。【解決手段】建設機械Ｓの運転中における燃費悪化運転動作の発生を検出するエコガイダンス判定部５３と、作業終了及び／又は作業開始を検出するキー操作検出部５２と、燃費悪化運転動作に対応する省エネルギー用のガイダンスを記憶し、作業終了又…
- ガイダンス出力装置及びガイダンス出力方法（特開２０１２−７２６３２）
【課題】オペレータに対して、省エネルギー化の対処に関する適切な情報を、適切な時点に提供できるようにする。【解決手段】建設機械Ｓの油圧ポンプのポンプ圧の値を取得し、建設機械Ｓが暖機運転中であるか否かを判定するエコガイダンス判定部５３と、油圧ポンプ３１ａのポンプ圧の値が油圧リリーフさせる圧力値以上である状態が、所定時間継続していることを検出した場合において、暖…
- 作業機械（特開２０１２−７２６５３）
【課題】状態表示マークと状態変化表示マークの数が増加したとしても個々のマークのサイズを小さくすることなく限られた面積の同一表示画面上に両者を表示できるようにする。【解決手段】建設機械の状態が変化していない場合には、表示画面２の表示箇所２０、３０，４０，５０，６０，７０にそれぞれの状態表示マーク２１、３１，４１，５１，６１，７１が表示される。ここで表示画面に…
- 作業車両の制御装置および制御プログラム（特開２０１２−８２９６２）
【課題】操作ストローク範囲が短い操作装置を採用した場合であっても、車体振動等の影響による制御量（速度比）の変化が少なくオペレータの感覚通りの制御量（速度比）が得られるようにする。【解決手段】コントローラは、操作ストロークの変化に応じて速度比が減少される第１のラインＬ11と、第１のラインＬ11に対してヒステリシスをもたせたラインであって、操作ストロークの変化に応…
- 自走式破砕機の管理システム（特開２０１２−８６２２４）
【課題】 ジョークラッシャ等の破砕装置に過負荷状態の回避動作が生じたときに、迅速に外部に報知して、過負荷状態の回避動作の発生頻度をオペレータを含む第三者に認識させ、破砕装置の損傷を防止でき、かつ復帰作業に要する時間を短縮することのできる自走式破砕機の管理システムを提供すること。【解決手段】 自走式破砕機の管理システムは、自走式破砕機と通信可能に接続されるサー…
- 建設機械（特開２０１２−８７４８０）
【課題】 可動式ラダーのステップ本体を拡開状態と格納状態とに駆動する油圧シリンダを収納するシリンダカバーに形成した開口部を、保護カバーによって開閉自在に覆うことができる建設機械を提供する。【解決手段】シリンダカバー21の底面に形成した長孔22bに沿って摺動する保護カバー32を、シリンダカバー21内に配設する。ステップ本体を拡開状態と格納状態とに回動させる第１リンク部…
- 極端紫外光源装置用ドライバーレーザ（特開２０１２−８９８８３）
【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができる極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。【解決手段】このドライバーレーザは、発振によりレーザ光を生成して出力する発振器と、発振器から出力されるレーザ光を増幅する少なくとも１つの増幅器とを有する。増幅器は、レーザ光を入力するための第１のウィンドウ及びレーザ光を出力するための第２のウィン…
- 作業車両（特開２０１２−９１６８７）
【課題】本発明の課題は、車体を大型化させずに車体内のスペースを拡大することができる作業車両を提供することにある。【解決手段】作業車両は、車体２と、複数の車輪６，３２と、左右一対の第１電気モータ７と、左右一対の第２電気モータ３３とを備える。車輪６，３２は、車体２を支持し、四輪以上である。第１電気モータ７は、車輪６を駆動する。第２電気モータ３３は、車輪３２を駆…
- 作業車両および作業車両の制御方法（特開２０１２−９２６９１）
【課題】本発明の課題は、冷却能力が過剰となることを抑えることにより燃費を向上させることができる作業車両及び作業車両の制御方法を提供することにある。【解決手段】作業車両の制御部は、エンジン回転数に応じてファン目標回転数の上限値を設定する。また、制御部は、ロックアップクラッチが係合状態であるときには、ロックアップクラッチが開放状態であるときよりも、ファン目標回…
- 装甲車（特開２０１２−９６７１３）
【課題】本発明の課題は、サスペンション装置におけるバンプストッパに対する支持剛性を維持しながらも軽量化することができる装甲車を提供することにある。【解決手段】サスペンション装置４の第１支持部２１は、車輪３を回転可能に支持する。アッパアーム２２は、車体２に対して揺動可能に取り付けられる。ロアアーム２３は、アッパアーム２２の下方に配置され、車体２に対して揺動可…
- 産業車両用データ通信システムの動作切替装置及びモード切替装置（特開２０１２−９６９２７）
【課題】産業車両の走行系および作業系の積算処理を行う機器が分散していたとしても、各機器に一括して積算処理及び積算処理の中断を指示できるようにし、積算処理と積算処理の中断との切替作業を簡易にすることによって作業時間を短縮する。【解決手段】制御部７１はデータ伝送路２０を介して特定のデータ送信部７２ｓから送信される信号を受信しなければ、データ送信部７２から送信さ…
- 作業機械（特開２０１２−９７７５１）
【課題】油圧アクチュエータが駆動されることなくエンジン再始動を容易にし、燃料消費量や排出する二酸化炭素量を低下させること。【解決手段】エンジン４０によって駆動される油圧ポンプ４２と、油圧アクチュエータ２１，２２，２３，３１，３２と、発電電動機４４が発電動作した場合の電力を蓄積する一方、発電電動機４４が電動動作する場合に電力を供給する蓄電器６１とを備え、操作…
- チャンバ装置及びチャンバ装置におけるドロップレットの移動制御方法（特開２０１２−９９４５１）
【課題】ドロップレットをプラズマ生成領域に到達させることができるチャンバ装置を提供する。【解決手段】チャンバ装置は、レーザ装置と共に用いられるチャンバ装置であって、レーザ光を内部に導入するための入射口が設けられたチャンバと、前記チャンバに絶縁体を介して設けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するためのターゲット供給部と、前記チャンバ装置に…
- ミラー、ミラー装置、レーザ装置および極端紫外光生成装置（特開２０１２−９９７９１）
【課題】光学系に使用されるミラーの熱変形は、抑えることが望ましい。【解決手段】光反射面を有する反射膜１１と、反射膜を支持するミラー基部１２とを備えた平面ミラー１でのミラー基部に、当該ミラー基部の外表面の少なくとも１箇所に開口するとともに、当該ミラー基部での反射膜の背面側の少なくとも１箇所に開口する第１流路Ｐ１と、少なくとも一部が反射膜の背面側に位置し、第１…
- 狭帯域化レーザ装置（特開２０１２−１０４８４６）
【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御が行える狭帯域化レーザ装置を提供する。【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅Ｅ９５をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅Ｅ９５が、目標スペクトル純度幅Ｅ９５０の許容幅Ｅ９５０±ｄＥ９５内に収まるように、発振用レーザ…
- 極端紫外光源装置（特開２０１２−１０４８６１）
【課題】ターゲット物質又はプラズマによって反射されてドライバレーザに戻る反射光（戻り光）によるドライバレーザの故障を防止する極端紫外光源装置を提供する。【解決手段】この極端紫外光源は、チャンバ内にターゲットを供給するターゲット供給部と、レーザ光を出射するドライバレーザと、レーザ光をターゲットに集光することによってプラズマを発生させるレーザ集光光学系と、プラ…
- 電動モータの冷却装置（特開２０１２−１０５４８７）
【課題】軸方向に沿った長さを長大化することなく、均一な冷却を図る。【解決手段】第１バランスプレート１６には、コア２０のコア部油路２２に対向する部位に第１油孔１６ａを形成し、第２バランスプレート１７には、ロータシャフト１０に対向する内周面からコア部油路２２までの間を連通する連絡油路１７ａと、連絡油路１７ａを第２バランスプレート１７の外端面に開口させる第２油孔…
- 極端紫外光生成システム（特開２０１２−１０９２１８）
【課題】ＥＵＶ光を生成する部品の位置合わせ精度を向上する。【解決手段】フレームと、極端紫外光の生成が内部で行われるチャンバと、チャンバの内部にターゲット物質を供給するためのターゲット供給部と、フレームとチャンバとをフレキシブルに接続するための第１の接続部材と、ターゲット供給部をフレームに固定するための機構と、ターゲット供給部をチャンバにフレキシブルに接続す…
- スラブ型増幅装置、レーザ装置および極端紫外光源装置（特開２０１２−１０９４１７）
【課題】レーザ光を効率的に増幅する。【解決手段】ＥＵＶ光源装置は、レーザ装置と、前記レーザ装置から出力されたレーザ光を入力して所定のターゲット物質に集光し、該レーザ光の集光によって励起した前記所定のターゲット物質から放射した極端紫外光を集光しつつ出力するチャンバと、を備える。レーザ装置は、スラブ型増幅装置と、前記光を出力するマスタオシレータと、前記スラブ型…
- 溶接構造体及びその製造方法（特開２０１２−１１０９５０）
【課題】製造工程の増加を抑えつつ回し溶接部におけるき裂の発生を抑制可能な溶接構造体及びその製造方法を提供する。【解決手段】溶接構造体１００は、第１短手ビード部３２０ａと、第１延在ビード部３３０ａと、を有する回し溶接部３０を備える。第１延在ビード部３３０ａは、第１短手ビード部３２０ａに連結され、長手方向において板状部材２０と反対向きに延在する。短手方向におい…
- 作業機械、電気制御ユニット、およびインバータ（特開２０１２−１１２１０２）
【課題】電気制御ユニットが大型化しても、ラジエータへの冷却空気の供給を良好にできる作業機械を提供すること。【解決手段】キャパシタ（蓄電器）６とインバータ５とを備えた電気制御ユニット２６において、キャパシタ６上には、インバータ５との間での電力送電用のケーブル４４が接続されるターミナルボックス３２が設けられ、インバータ５上には、当該ケーブル４４、発電機モータか…
- 電動機の制御装置、電動機の制御方法、及び電動機の制御装置を備えた建設機械（特開２０１２−１１２１６８）
【課題】エコノミーモードであっても、オペレータに違和感を感じさせることのない、電動機の制御装置を提供すること。【解決手段】作業モードとしてパワーモード及びエコノミーモードを有する電動機の制御装置において、パワーモードと対応し、旋回体の旋回速度に応じたトルクリミットの第１マップを記憶する第１マップ記憶手段４９と、エコノミーモードと対応し、旋回体の旋回速度に応…
- 作業車両の制御装置および制御プログラム（特開２０１２−１１２５２８）
【課題】操作ストロークを増減させて微調整を行う場合にもオペレータの感覚通りの制御量（速度比）が得られるようにする。【解決手段】第１のラインＬ11上の点から操作ストロークが増加して速度比が減少する方向に操作レバー装置が操作された場合には、第１のラインＬ11に従って速度比を演算する。第２のラインＬ12上の点から操作ストロークが減少して速度比が増加する方向に操作レバー…
- 無人車両の走行システムおよび走行経路生成方法（特開２０１２−１１３４２９）
【課題】経由点を最適な地点に設定する。【解決手段】走行経路１０上にあって積込点１２の手前のスイッチバック点１３を、積込点１２の位置移動に応じて位置移動する移動地点としてその初期位置情報を指示する。指示されたスイッチバック点１３の初期位置情報と、積込点１２の位置情報とに基づいて、積込点１２とスイッチバック点１３との相対位置関係Ａの情報を生成する。積込点１２の…
- 履帯ブシュおよび履帯リンク装置（特開２０１２−１１６３６３）
【課題】シール機能を長期に亘って安定的に保つことができ、しかもシール機能回復のためのメンテナンスを容易に行うことができる履帯ブシュおよび履帯リンク装置を提供する。【解決手段】軸線Ｏ方向の中間部を形成する大径円筒部３１ａとその大径円筒部３１ａよりも小径で軸線Ｏ方向の端部を形成する小径円筒部３１ｂとを有してなる履帯ブシュ本体３１と、小径円筒部３１ｂの外周に装着…
- 油圧ショベル（特開２０１２−１１７２４９）
【課題】例えば、後方小旋回型の油圧ショベルのように、車体前後方向における車体の長さが小さい油圧ショベルであっても、排気ガス後処理装置の着脱を容易に実施することが可能な油圧ショベルを提供する。【解決手段】後方小旋回型の油圧ショベル１は、エンジン６の排気ガス中に含まれる粒子状物質を減少させる排気ガス後処理装置２０と、切欠き部５ａを有するカウンタウェイト５と、カ…
- 無人車両の走行システムにおける走行制御方法および無人車両の走行システム（特開２０１２−１１８６９４）
【課題】作業現場が施工された後、無人車両を走行させるまでに行なわれる作業現場の詳細な地形データを計測する工程、走行経路を生成する工程を不要とし、作業現場施工後、即座に走行経路に沿って無人車両を走行可能として、無人車両の生産性を向上させるとともに作業現場の運用コストを低減させる。【解決手段】作業現場の地形データを作成して新たな走行経路の情報を生成する。次に、…
- 極端紫外光源装置及びチャンバ装置（特開２０１２−１１９０９９）
【課題】チャンバ内において構成部品の位置又は傾きを調整するための姿勢制御機構を最適化する。【解決手段】極端紫外光を生成するチャンバ装置は、壁部に第１の貫通孔が設けられ、内部でＥＵＶ光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内に配置されるＥＵＶ集光ミラーと、チャンバ外に配置され、ＥＵＶ集光ミラーの姿勢を制御する姿勢制御機構と、第１の貫通孔を介してＥＵＶ集光ミラー…
- プラズマ切断装置およびプラズマトーチの冷却方法（特開２０１２−１２１０６９）
【課題】プラズマトーチのノズルへ供給される冷却液の流量を増大させ、プラズマトーチの寿命を延ばす。【解決手段】プラズマトーチ（１０）内で、電極（８０）に冷却液を供給する電極冷却液通路（６０、８４、８５、８６および６４）と、ノズル（８８）に冷却液を供給するノズル冷却液水通路（５６、７０、９２、７２および６８）とが、並列つまり独立な水路として分離され、互いに電気…
- 旋回制御装置、旋回制御方法、および建設機械（特開２０１２−１２２３２７）
【課題】 旋回体の静止状態を確実に維持できる旋回制御装置、旋回制御方法、および建設機械を提供すること。【解決手段】 旋回制御装置１００は、作業機を搭載した建設機械に適用されるとともに、電動モータ５で駆動される旋回体の旋回動作を制御するものであって、電動モータ５の制御指令の生成および出力を行う制御指令生成手段１３０と、旋回レバー１０の操作量に基づいて生成される…
- 溶接トーチ（特開２０１２−１２５８４１）
【課題】溶接トーチを小型化する。【解決手段】本発明に係る溶接トーチにおいて、トーチ本体４は、外管１１と、外管１１の内部に挿入されその先端にチップ２が接続された内管１２とを有する。第１流路５ａ−５ｄは、内管１２において内管１２の表面よりも内側に位置しており、トーチ本体４の軸方向に沿って設けられ、トーチ本体４の先端側へ向けて流れる冷却水が通る流路である。第２流路…
- 測位装置、及び測位方法（特開２０１２−１２７９２３）
【課題】様々な場所でできるだけ正確な位置を測位できるようにする。【解決手段】航法衛星システムの複数の衛星から送信された衛星信号を受信して現在位置を示す位置情報を演算するものであって、高感度と低感度の衛星信号受信機能を有し、高感度の衛星信号受信機能を使って演算された高感度での位置情報と、低感度の衛星信号受信機能を使って演算された低感度での位置情報とを、選択的…
- モニタ装置、モニタ装置を搭載した機械、及びモニタ装置のためのデータ保存方法（特開２０１２−１２８７０２）
【課題】 建設機械のモニタ装置の交換時、交換前のモニタ装置が保持していた設定や履歴のデータを交換後のモニタ装置に引き継ぐ。【解決手段】建設機械１が備える各種のコントローラ（２０、３０、４０）の中のいずれか１つ又は複数、例えば、外部通信コントローラ（２０）が、モニタ装置（１０）のためのデータバックアップ装置として流用される。モニタ装置（１０）内の記憶装置（１６…
- 建設車両（特開２０１２−１３２２６９）
【課題】複数の熱交換器のレイアウトを最適化することで、冷却装置全体の熱交換効率を向上させることが可能な建設車両を提供する。【解決手段】ホイールローダ１０は、冷却風流路上に複数の熱交換器を配置した冷却装置２０として、冷却風流路の最下流側の位置に略鉛直方向に沿って配置されたラジエータ２２と、ラジエータ２２の冷却風流路の上流側の前面下部に対して略平行になるように…
- 建設機械（特開２０１２−１３２２８９）
【課題】リヤアクスルハウジングを効率的に冷却可能な建設機械を提供する。【解決手段】ホイールローダー１００において、アンダーカバー２００は、底板部２１０と傾斜板部２２０とを有する。傾斜板部２２０は、底板部２１０とリヤアクスルハウジング８０との間に配置され、底板部２１０の後端から斜め上方に延びている。
- 極端紫外光源装置及び極端紫外光の発生方法（特開２０１２−１３４４３３）
【課題】ＥＵＶ光生成装置のＣＥを向上させる。【解決手段】極端紫外光源装置は、レーザビーム生成システムと、前記レーザビーム生成システムから出力される少なくとも１つのレーザビームの光強度および出力タイミングの少なくともいずれか一方を制御するレーザ制御システムと、前記レーザビーム生成システムから出力される前記少なくとも１つのレーザビームを内部に導入するための少な…
- 光学装置、光学装置を備えるレーザ装置、及びレーザ装置を備える極端紫外光生成システム（特開２０１２−１３４４４７）
【課題】エネルギー変換効率を向上する。【解決手段】レーザ装置は、一方の主面側に入射した第１レーザ光の一部を第１反射光として反射するとともに残りの一部を第１透過光として透過し、且つ、他方の主面に入射した第２レーザ光の一部を第２透過光として透過するとともに残りの一部を第２反射光として反射するミラーと、前記第１透過光と前記第２反射光との光軸、もしくは、前記第１反…
- 建設機械のアームレスト装置（特開２０１２−１３６０５０）
【課題】簡易な構成・操作で、操作レバーに対するアームレストの前後方向の相対距離の変化を抑えつつアームレストの高さ調節を行うことができる建設機械のアームレスト装置を提供する。【解決手段】中立位置にあるときに前傾状態で起立される操作レバー２７が配設されたコンソール２４に組み付けられるアームレスト装置２８であって、操作レバー２７の後方に配置されるアームレスト３０…
- 建設機械の燃料タンク（特開２０１２−１３６０５１）
【課題】戻り燃料に起因して燃料の残量が正しく検出されないといった不具合の発生を未然に防ぐことができる建設機械の燃料タンクを提供する。【解決手段】燃料タンク本体２０の後側板２２ｃの上部に設けられる戻り燃料受入口３１に装着される戻り側配管継手３３と、燃料タンク本体２０に収容される燃料の液面高さの変化に合わせて燃料タンク本体２０の内部における中央部２０ｂで所定の…
- 建設機械のトラックフレーム（特開２０１２−１３６１０７）
【課題】上段ステップの下側に位置する下段ステップに岩石等が衝突したとしても、下段ステップを固定するボルトの折損を防ぐことができる建設機械のトラックフレームを提供する。【解決手段】上下に段差を持たせて配される上段ステップ２１および下段ステップ２２をそれぞれ備え、上段ステップ２１の取付部２４ｂおよび下段ステップ２２の取付部２２ｃがそれぞれボルト３３，３３；３４…
- 作業車両（特開２０１２−１３６１１７）
【課題】グリルの清掃等の作業を容易にでき、かつグリル下方からの異物の侵入を防止する部材の耐久性を向上させることができる作業車両を提供すること。【解決手段】作業車両は、冷却ファン７１および冷却装置７２〜７４が収容される冷却室７と、冷却ファン７１にて冷却室内７に引き入れられる冷却空気が通るとともに、左右方向に開閉自在に設けられた開閉グリル１３とを備え、開閉グリ…
- 建設機械（特開２０１２−１３６８２９）
【課題】コンソールカバーの耐久性を向上可能な建設機械を提供する。【解決手段】ホイールローダー１００において、右リヤコンソールカバー４３は、カバー部４３１と、カバー下側固定部４３２と、を有する。カバー部４３１は、コンソール４２を覆う。カバー下側固定部４３２は、カバー部４３１の下端部分４３１ａとコンソール固定部４２２との間に配置され、床板８０に固定される。
- 建設機械（特開２０１２−１３６８３０）
【課題】コンソールカバーの耐久性を向上可能な建設機械を提供する。【解決手段】ホイールローダー１００において、中央リヤコンソールカバー４５は、カバー部４５１と、カバー下側固定部４５２と、を有する。カバー下側固定部４５２は、カバー部４５１の下端部分４５１ａと側壁７２との間に配置され、コンソール固定部４４２と側壁７２との間において床板８０に固定される。
- 作業車両（特開２０１２−１３６８４５）
【課題】排気ガス浄化装置の着脱を容易にできる作業車両を提供すること。【解決手段】作業車両は、動力室内に収容されたエンジン２０と、動力室内に収容されるとともに、エンジン２０に供給される吸気を浄化するエアクリーナ２１と、動力室内でエンジン２０に搭載されるとともに、エンジン２０から排気される排気ガスを浄化する排気ガス浄化装置２２と、排気ガス浄化装置２２をエンジン…
- 作業車両（特開２０１２−１３６８４６）
【課題】隔壁での管路部材の貫通部分に生じる隙間を簡単な構造で確実に塞ぐことができる作業車両を提供すること。【解決手段】動力室と冷却室とを仕切る隔壁に設けられた開口部での隙間埋め部材５０は、動力室と前記冷却室とを連通させる貫通孔５４Ｃを有するとともに、貫通孔５４Ｃを通る分割縁５１Ｂ１，５２Ａ１で互いに分割自在とされた上下のブラケット５１，５２で構成され、それ…
- 作業機械の表示装置（特開２０１２−１３６８４８）
【課題】表示部と画面操作スイッチ群とが分離された場合であって画面操作スイッチ群のスイッチ数が少ない場合であっても画面操作が容易な作業機械の表示装置を提供する。【解決手段】表示部１１と、表示部１１と離隔した位置に配置され、画面操作を指示する画面操作スイッチ群を有するスイッチパネル１４と、前記表示画面上の複数の画面を切り替えて表示するとともに、表示画面上で有効…
- ガイダンス出力装置、ガイダンス出力方法、及びガイダンス出力装置を備えた建設機械（特開２０１２−１３６９８５）
【課題】内燃機関の排気ガス浄化装置の再生処理中は、不要な燃費改善のガイダンスを出力させることのないガイダンス出力装置を提供すること。【解決手段】内燃機関の排気ガス浄化装置を備えた建設機械において、エネルギー浪費運転動作であることを検出したときに、燃費改善のガイダンスを出力するガイダンス出力装置２３は、排気ガス浄化装置が再生処理中であるか否かを判定する再生処…
- ガイダンス出力方法（特開２０１２−１３７０９０）
【課題】内燃機関の排気ガス浄化装置の再生処理中は、不要な燃費改善のガイダンスを出力させることのないガイダンス出力方法を提供すること。【解決手段】内燃機関の排気ガス浄化装置を備えた建設機械において、内燃機関の省エネルギー用のガイダンスを出力するガイダンス出力方法は、排気ガスの再生処理中（Ｓ３）は、内燃機関の省エネルギー用ガイダンスの出力を規制する（Ｓ４）こと…
- 建設機械の操作レバー装置およびコンソール（特開２０１２−１３７８１２）
【課題】操作レバーの揺動に伴うワイヤハーネスの局部的な曲げ作用を抑えることができ、これによってワイヤハーネスの局部的な劣化を未然に防ぐことができる建設機械の操作レバー装置およびコンソールを提供する。【解決手段】操作レバー３２の揺動に伴いその操作レバー３２の中間結合部材３７のハーネス取出口３７ｃが描く円弧状軌跡を含む円周４２に側面視で沿うようにワイヤハーネス…
- 油圧駆動装置（特開２０１２−１４１０１４）
【課題】大型の油圧シリンダを動作させる場合の応答性を確保し、かつ油圧シリンダの負荷圧に応じた容量の油を供給する。【解決手段】方向制御弁３０と、操作レバー４１の操作量に応じたパイロット圧を出力することによってパイロット操作弁４０と、油圧シリンダ１０の負荷圧と油圧ポンプ２０の吐出圧力との差圧に従って動作するポンプ容量制御弁５２とを備えた油圧駆動装置において、パ…
- 建設機械（特開２０１２−１４４０７４）
【課題】 キャブの支持構造を簡素化できる建設機械を提供すること。【解決手段】 建設機械は、車体フレーム１１と、車体フレーム１１に搭載されたマウント装置１１０と、マウント装置１１０上に連結ピン１５０を介して回動自在に連結されたキャブとを備え、車体フレーム１１には、連結ピン１５０が挿通される挿通孔１４３を有したストッパ１４０が設けられ、ストッパ１４０の挿通孔１４…
- 建設機械のエンジンフード（特開２０１２−１４４２０４）
【課題】エンジンフード本体が第１の開放位置から第２の開放位置へと不意に開くのを防ぐことのできる建設機械のエンジンフードを提供する。【解決手段】ステー３１の支持軸３１ｂが案内部３４に形成された第１の掛止部に掛け止められてエンジンフード本体２１を第１の所定角度の位置まで開いた第１の開放位置と、ステー３１の支持軸３１ｂが案内部３４に形成された第２の掛止部に掛け止…
- 建設機械（特開２０１２−１４４２１０）
【課題】支持構造に潤滑油を確実に供給でき、異物が支持構造内部に入り込むことを防止できる建設機械を提供すること。【解決手段】建設機械であるダンプトラックでは、フロントフレーム１１に搭載されたキャブ３０と、フレーム１１とキャブ３０との間に設けられてキャブ３０を回動可能に支持するリア側支持構造１００Ｂとを備え、キャブ３０には、支持構造１００Ｂを上方から覆うカバー…
- 走行車両（特開２０１２−１４４２２８）
【課題】本発明の課題は、車体を大型化させずに車体内のスペースを拡大することができると共に、車輪の操舵に要する力の増大を抑えることができる走行車両を提供することにある。【解決手段】走行車両において、第１ハウジング部１７は、車輪１２内に配置される。第２ハウジング部１８は、第１ハウジング部１７の車幅方向における内方に配置され、第１ハウジング部１７の外径よりも小さ…
- 建設機械（特開２０１２−１４４２３１）
【課題】空調装置と空調装置以外の装置との間で冷却ファンを共有しつつ、エンジンの燃料消費量を抑制することができる建設機械を提供すること。【解決手段】建設機械は、空調装置の第１熱交換器と、空調装置以外の装置の第２熱交換器と、第２熱交換器で熱交換が行われる冷却流体の温度を検出する温度センサと、第１熱交換器および第２熱交換器を冷却する冷却ファンと、冷却ファンを駆動…
- トラクションコントロール装置（特開２０１２−１４４２５５）
【課題】車両速度の推定にあたり、実際の車両速度との誤差が生じた場合であっても、適切に制御することができるトラクションコントロール装置を提供すること。【解決手段】車両速度推定装置及び駆動力制御装置を備えたトラクションコントロール装置は、駆動力制御装置を構成し、回転速度検出手段で検出された回転速度から各車輪のスリップ率を算出して、算出されたスリップ率が一定の目…
- ラジエータファンの制御装置、その制御装置を備える建設機械及びラジエータファンの制御方法（特開２０１２−１４４８７３）
【課題】油圧回路の損傷抑制とラジエータファンの迅速な反転とを可能とするラジエータファンの制御装置、その制御装置を備える建設機械及びラジエータファンの制御方法を提供する。【解決手段】制御装置１００は、油圧ポンプ７０の容量が低減された時点から第１時間間隔ΔＰが経過した場合に、切換え弁６０の位置を、正位置Ａ（「第１位置」の一例）から中立位置Ｂへ切換え開始する。また…
- チャンバ装置（特開２０１２−１４６６１３）
【課題】チャンバ内に配置された要素の特性や性能が劣化することを抑制する。【解決手段】チャンバ装置は、レーザシステムおよび前記レーザシステムから出力されるレーザ光を集光する集光光学系と共に用いられるチャンバ装置であって、前記レーザ光を内部へ導入するための入射口を有するチャンバと、前記チャンバに取り付けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給する…
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